Planar-Servomotoren und Planarmotoren

XY-Bewegungen auf einem Luftlager durch einen Planar-Servo-Schrittmotor mit integrierter Wegmessung. Über Kopf und auch im Vakuum betreibbar.

Planar-Servomotoren LMSP haben integrierte Wegmess-Sensoren und arbeiten mit Positionsregelung (closed loop).

XY-Tisch

  • closed loop durch integrierte Wegmessung
  • Schrittmotor ermöglicht einfache Antriebselektronik
  • verschleißfreie Luftlagerung
  • keine extern messbaren Magnetfelder
  • praktisch keine Erwärmung
  • über Kopf einbaubar
  • Statorfläche bis 1000x1000mm
  • Vakuumtauglich

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