Planar-Servomotoren und Planarmotoren

XY-Bewegungen auf einem Luftlager durch einen Planar-Servo-Schrittmotor mit integrierter Wegmessung. Über Kopf und auch im Vakuum betreibbar.

Planar-Servomotoren LMSP haben integrierte Wegmess-Sensoren und arbeiten mit Positionsregelung (closed loop).

XY-Tisch

• closed loop durch integrierte Wegmessung
• Schrittmotor ermöglicht einfache Antriebselektronik
• verschleißfreie Luftlagerung
• keine extern messbaren Magnetfelder
• praktisch keine Erwärmung
• über Kopf einbaubar
• Statorfläche bis 1000x1000mm
• Vakuumtauglich