Linearführungen in der Halbleiterfertigung sind hochspezialisierte, ultra-präzise mechanische Führungssysteme, die dafür sorgen, dass Wafer, Masken und Fertigungswerkzeuge auf einer geraden Linie absolut exakt positioniert werden. Im Gegensatz zu herkömmlichen Linearführungen im Maschinenbau müssen diese Komponenten im Nanometerbereich arbeiten und extrem sauber sein.
Sie bilden das „Rückgrat“ der Bewegungstechnik in Maschinen, die Chips (ICs), Sensoren und Speicherbausteine herstellen.